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“冷加工”具有很高负荷能量的（紫外）光子，能够打断材料（特别是有机材料）或周围介质内的化学键，至使材料发生非热过程破坏。这种冷加工在激光标记加工中具有特殊的意义，因为它不是热烧蚀，而是不产生"热损伤"副作用的、打断化学键的冷剥离，因而对被加工表面的里层和附近区域不产生加热或热变形等作用。例如，电子工业中使用准分子激光器在基底材料上沉积化学物质薄膜，在半导体基片上开出狭窄的槽。
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媒介是固体，激光器发射出接近红外线区域的1060nm的光波，有连续式、光笔式两种，通过改变输出能量，可得到不同强度的激光束。打标工艺有焦化法(深色标记)、发泡法(浅色标记)和烧蚀法(雕刻标记)，标记质量极好。
yag固体激光切割机具有价钱低、稳定性好的特性，但能量效率低普通3%，目前产品的输出功率大多在600w以下，由于输出能量小，主要用于打孔和点焊及薄板的切割。它的绿色的激光束可在脉冲或连续波的状况下应用，具有波长短、聚光性好适于精细加工是在脉冲下停止孔加工，也可用于切削、焊接和光刻等。yag固体激光切割机激光器的波长不易被非金属吸收，故不能切割非金属资料，且yag固体激光切割机需求处理的是增加电源的稳定性和寿命，即要研制大容量、命的光泵鼓励光源，如采用半导体光泵可使能量效率大幅度地增加。
